德圖氣探針的幾大工作方式要了解
德圖氣探針又可稱之為微區(qū)X射線譜分析儀,實際上就是把高速的電子打在物體上。探針它捕獲的不是電子,它要的是物體受到電子攻擊產(chǎn)生的X線,因為這個X線含有標本的化學成分信息,所以它長用來分析物體里有什么,這樣我們就知道標本里面有多少氫多少氧等等。
德圖氣探針是X射線光譜學與電子光學技術相結合而產(chǎn)生的。48年法國的R.卡斯坦制造了臺電子探針儀。58年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結構上有許多共同處。70年代以來生產(chǎn)的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能,有的還附加另一些附件,使之除作微區(qū)成分分析外,還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。
德圖氣探針主要包括:探針形成系統(tǒng)(電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統(tǒng)和顯示、記錄系統(tǒng)、樣品室、高壓電源和掃描系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
德圖氣探針有三種基本工作方式:
1.點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析,以及對其中所含元素進行定量分析;
2.線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化;
3.面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內(nèi)濃度分布。
由莫塞萊定律可知,各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長,通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素,這就是探針定性分析的依據(jù)。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比,就能進行探針的定量分析。當然利用電子束激發(fā)的X射線進行元素分析,其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內(nèi)層電子臨界電離激發(fā)能。